真空泵的工作原理在于通过抽吸空气，将被抽取物质抽出到大气压力之下，从而实现对被抽取物质的高纯度抽吸。真空度是指系统内部的压力低于大气压的数值，其测量单位通常为帕斯卡（Pa）。不同行业和领域对真空度有不同的要求，如半导体制造中的真空度需要达到10^-6至10^-9Pa。
真空泵的极限真空度指的是真空泵所能达到的最低真空度。这个值取决于真空泵的设计和材料，以及其内部部件的密封性。对于某些特定的应用场景，比如精密机械加工，可能需要极低的真空度来提高生产效率或保证零件的质量。
在实际操作中，真空泵可以采用不同的技术来提高其极限真空度，例如增加泵的流量、改进泵壳的设计、使用特殊的泵头材料等。这些措施的成本往往不菲，而且并不能无限提高极限真空度。在选择真空泵时，应根据具体需求来确定合适的极限真空度。
真空泵的极限真空度是指能够达到的最低真空度，这一参数决定了真空泵性能的好坏和适用范围。为了满足各种工业应用的需求，真空泵的设计和技术也在不断发展和完善。
