1、检查时，应将旋片真空泵隔离后再进行检查。
2、先隔离阀门到旋片真空泵这段系统各可疑部位，阀门，法兰，管道焊缝转弯处并作细致的检漏工作。
3、通常用真空计法，即用毛笔蘸取酒精，丙酮等有机溶剂逐一涂抹以上可疑部位和旋片真空泵的进气口接缝等处，同时看真空计或辉光颜色的变化。当发现真空计抖动或紫色辉光变乳白色时，可判定被涂到的部位漏气。
4、在漏隙较小时，这种方法就难以察觉了，应采用更灵敏的方法检漏。
5、如有漏气处，则可修补下。
6、如果是旋片真空泵本身有问题，则应该把旋片真空泵从真空系统上拆下检修。
